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含雜環(huán)鎓鹽

公開(公告)號(hào) CN1622943A  
公開(公告)日 2005.06.01  
申請(qǐng)(專利)號(hào) CN02828462.3  
申請(qǐng)日期 2002.10.11  
專利名稱 含雜環(huán)鎓鹽  
主分類號(hào) C07D311/16  
分類號(hào) C07D311/16;C07D311/86;C08G59/00;G03F7/004  
分案原申請(qǐng)?zhí)?  
優(yōu)先權(quán) 2002.3.4 JP 56697/2002  
申請(qǐng)(專利權(quán))人 和光純藥工業(yè)株式會(huì)社  
發(fā)明(設(shè)計(jì))人 石原正巳;浦野洋治;高橋昌弘  
地址 日本大阪府大阪市  
頒證日  
國(guó)際申請(qǐng) PCT/JP2002/010605 2002.10.11  
進(jìn)入國(guó)家日期 2004.09.03  
專利代理機(jī)構(gòu) 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司  
代理人 高龍?chǎng)?王穎  
國(guó)省代碼 日本;JP  
主權(quán)項(xiàng) 一種通式[1]或[35]表示的含雜環(huán)鎓鹽,[式中,R表示通式[2]表示的基團(tuán)或通式[3]表示的基團(tuán),(式中,R3及R4分別獨(dú)立且表示鹵原子、可具有鹵原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基,X2表示原子或硫原子,i表示0~4的整數(shù),j表示0~3的整數(shù));(式中,R5及R6分別獨(dú)立并表示鹵原子、可具有鹵原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨(dú)立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數(shù),q表示0~3的整數(shù));R1及R2分別獨(dú)立且表示鹵原子、可具有鹵原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨(dú)立且表示0~5的整數(shù);A表示鹵原子、或者來(lái)自無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、有機(jī)酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自鹵代低級(jí)烷基、鹵原子、硝基及氰基的取代基的芳基)];[式中,R26及R27分別獨(dú)立且表示可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基、上述通式[2]表示的基團(tuán)或通式[3]表示的基團(tuán),A3表示鹵原子、或者來(lái)自無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、有機(jī)酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,但是,R26及R27中的至少一種是上述通式[2]或[3]表示的基團(tuán),另外,當(dāng)R26及R27的任意一種中僅有一種是通式[2]或[3]表示的基團(tuán)時(shí),A3表示來(lái)自通式[36]表示的無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、有機(jī)酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或原子)]。  
摘要 本發(fā)明涉及適用于陽(yáng)離子性光聚合引發(fā)劑、化學(xué)放大型抗蝕劑用酸發(fā)生劑的含雜環(huán)鎓鹽,提供一種用通式[1](式中,R表示用通式[2]或通式[3]表示的基團(tuán))表示的含雜環(huán)的锍鹽:如右式(1)、(2)或用通式[35]表示的含雜環(huán)的鎓鹽,如式[35](式中,R26及R27的至少一種是用上述通式[2]或[3]表示的基團(tuán))。  
國(guó)際公布 WO2003/074509 日 2003.9.12  
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