公開(公告)號(hào)
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CN1622943A
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公開(公告)日
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2005.06.01
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申請(qǐng)(專利)號(hào)
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CN02828462.3
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申請(qǐng)日期
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2002.10.11
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專利名稱
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含雜環(huán)鎓鹽
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主分類號(hào)
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C07D311/16
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分類號(hào)
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C07D311/16;C07D311/86;C08G59/00;G03F7/004
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分案原申請(qǐng)?zhí)? |
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優(yōu)先權(quán)
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2002.3.4 JP 56697/2002
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申請(qǐng)(專利權(quán))人
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和光純藥工業(yè)株式會(huì)社
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發(fā)明(設(shè)計(jì))人
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石原正巳;浦野洋治;高橋昌弘
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地址
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日本大阪府大阪市
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頒證日
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國(guó)際申請(qǐng)
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PCT/JP2002/010605 2002.10.11
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進(jìn)入國(guó)家日期
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2004.09.03
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專利代理機(jī)構(gòu)
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隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
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代理人
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高龍?chǎng)?王穎
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國(guó)省代碼
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日本;JP
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主權(quán)項(xiàng)
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一種通式[1]或[35]表示的含雜環(huán)鎓鹽,[式中,R表示通式[2]表示的基團(tuán)或通式[3]表示的基團(tuán),(式中,R3及R4分別獨(dú)立且表示鹵原子、可具有鹵原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基,X2表示氧原子或硫原子,i表示0~4的整數(shù),j表示0~3的整數(shù));(式中,R5及R6分別獨(dú)立并表示鹵原子、可具有鹵原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基,X3及X4分別獨(dú)立且表示氧原子或硫原子,p表示0~2的整數(shù),q表示0~3的整數(shù));R1及R2分別獨(dú)立且表示鹵原子、可具有鹵原子或芳基作為取代基的烷基、或者可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基,m及n分別獨(dú)立且表示0~5的整數(shù);A表示鹵原子、或者來(lái)自無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、有機(jī)酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM1(R7)4[4](式中,M1表示硼原子或鎵原子,R7表示可具有選自鹵代低級(jí)烷基、鹵原子、硝基及氰基的取代基的芳基)];[式中,R26及R27分別獨(dú)立且表示可具有鹵原子或低級(jí)烷基作為取代基的芳基、上述通式[2]表示的基團(tuán)或通式[3]表示的基團(tuán),A3表示鹵原子、或者來(lái)自無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、有機(jī)酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,但是,R26及R27中的至少一種是上述通式[2]或[3]表示的基團(tuán),另外,當(dāng)R26及R27的任意一種中僅有一種是通式[2]或[3]表示的基團(tuán)時(shí),A3表示來(lái)自通式[36]表示的無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、有機(jī)酸或通式[4]表示的化合物的陰離子,HM3F6[36](式中,M3表示磷原子、砷原子或銻原子)]。
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摘要
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本發(fā)明涉及適用于陽(yáng)離子性光聚合引發(fā)劑、化學(xué)放大型抗蝕劑用酸發(fā)生劑的含雜環(huán)鎓鹽,提供一種用通式[1](式中,R表示用通式[2]或通式[3]表示的基團(tuán))表示的含雜環(huán)的锍鹽:如右式(1)、(2)或用通式[35]表示的含雜環(huán)的鎓鹽,如式[35](式中,R26及R27的至少一種是用上述通式[2]或[3]表示的基團(tuán))。
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國(guó)際公布
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WO2003/074509 日 2003.9.12
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